产品用途：
该机主要用于硅片、硬盘基片、光盘母盘、陶瓷片及其它硬脆材料的双面高精度研磨。
主要特点：
1. 采用伺服电机同步拖动，变速范围更广，运动精度高，响应速度快。
2. 采用触摸式平板电脑、嵌入式计算机控制，为用户提供开放式的图形操控界面；并设有四级密码保护（管理人员、维护人员、工艺人员、普通操作），方便了各层次人员的操作使用；具有接入以太网、远程调试、双机通讯等先进功能（可扩展）；可根据用户要求编制控制软件和操作界面。
3. 采用模块化设计理念：主传动在基本结构零件不变的前提下，可选配双电机、三电机、四电机；可灵活的选配普通异步电机、交流异步伺服电机；副减速箱（太阳轮、齿圈）可灵活的选配国产或进口件。
4. 太阳轮与内齿圈大行程(80mm)同步抬升，满足了宽范围取放工件及调整游轮啮合位置的要求。
5. 压力采用电—气比例阀与拉力传感器闭环反馈控制，压力过程实现了线性转换，压力控制精度±2kg。
6. 工艺适应性：
? 拥有20套可编辑工艺,每套工艺可执行20步；
? 液泵（两路）、水泵状态在每步工艺中可编辑；
? 各电机运行速度及旋向在工艺中可单独编辑；
? 电机加速时间、加压斜率、目标压力在每步工艺中可编辑；
? 在每步工艺中可设置两个自定义外设状态；
7. 可安装可行走式地脚，方便了设备搬移（选配）。
主要技术参数：
1.研磨盘尺寸： φ1118 mm×φ386 mm×60 mm（标配，可自定）
2. 游轮参数：
公制：Z＝142 M＝3 α＝20°
英制：Z＝200 DP＝12 α＝20°
3. 游轮数量： 5片
4. 最大研磨直径： φ350 mm
最小研磨厚度： 0.30mm
5. 下研磨盘转速: 0～60rpm
6. 上盘电机（选配）:7.5kW 4极 AC380V
7. 下盘电机: 15kW 4极 AC380V
8. 太阳轮电机： 1.5kW 4极 AC380V
9. 齿圈电机： 4kW 4极 AC380V
10. 气源： 0.5—0.6Mpa
11. 外形尺寸：2324mm× 1524mm × 2995mm
12.重量： 约8000Kg
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